izotropní a anizotropní leptání

Rozdíly mezi izotropním a anizotropním leptáním souvisí s tvarem, který vyřezávají pod leptanou maskou. Anizotropní leptání je, když je plazmový lept kolmý a vyskytuje se v jednom směru, zatímco izotropní leptání nastává, když je plazmový leptání ve všech směrech.

1. Co je to anizotropní leptání?
2. Je mokré leptání izotropní?
3. Je suché leptání anizotropní?
4. Jaký je rozdíl mezi leptáním za mokra a leptáním za sucha?
5. Jaké jsou typy leptání?
6. K čemu se používá leptání plazmou?
7. Když je vysoká selektivita leptání, znamená to?
8. Jak ovládáte lept?
9. Proč je třeba leptat?
10. Co může způsobit leptání při suchém leptání?
11. Co je to leptání křemíkem?
12. Jaký je význam leptání?

Co je to anizotropní leptání?

Anisotropní leptání je subtraktivní mikrofabrikační technika, jejímž cílem je přednostně odstranit materiál ve specifických směrech, aby se získaly složité a často ploché tvary. Mokré techniky využívají krystalické vlastnosti struktury k leptání ve směrech řízených krystalografickou orientací.

Je mokré leptání izotropní?

Mokré chemické leptání je obecně izotropní, i když je přítomna maska, protože kapalné leptadlo může pronikat pod masku. Protože směrovost je obvykle důležitá pro přenos vzorů s vysokým rozlišením, mokré chemické leptání se obvykle nepoužívá.

Je suché leptání anizotropní?

Suché leptání je obvykle anizotropní proces, při kterém se k fyzickému odstranění a leptání cílových materiálů používá hybnost iontových druhů zrychlujících se směrem k substrátu v kombinaci s maskovacím procesem.

Jaký je rozdíl mezi leptáním za mokra a leptáním za sucha?

Suché a mokré leptání jsou dva hlavní typy procesu leptání. Tyto procesy jsou užitečné pro odstraňování povrchových materiálů a vytváření vzorů na površích. Hlavní rozdíl mezi leptáním za sucha a leptáním za mokra spočívá v tom, že leptání za sucha se provádí v kapalné fázi, zatímco leptání za mokra se provádí v plazmové fázi.

Jaké jsou typy leptání?

Obecně existují dvě třídy procesů leptání:

• Mokré leptání, při kterém je materiál ponořen do chemického roztoku.
• Suché leptání, kde je materiál rozprašován nebo rozpuštěn pomocí reaktivních iontů nebo leptadla v plynné fázi.

K čemu se používá leptání plazmou?

Plazmové leptání se používá k „zdrsnění“ povrchu v mikroskopickém měřítku. Povrch součásti je obvykle leptán reaktivním procesním plynem, který působí na povrch chemicky i fyzikálně.

Když je vysoká selektivita leptání, znamená to?

Vysoká selektivita je relativní pojem, který popisuje, když dva materiály leptají výrazně odlišnou rychlostí leptání, aby poskytly požadované výsledky. Často se jedná o případy, kdy je maska ​​leptána pomalu ve srovnání s materiálem, který je pomocí leptání vzorován.

Jak ovládáte lept?

Mokré chemické leptání je izotropní a produkuje zaoblené mikrokanály boční stěny. Tvar a úhel boční stěny lze upravit aplikací titanu jako ustupující masky při mokrém leptání (obr. 1.5) (Pekas et al., 2010). Hloubka kanálu je řízena rychlostí leptání a dobou leptání.

Proč je třeba leptat?

Leptání se používá k odhalení mikrostruktury kovu prostřednictvím selektivního chemického napadení. Rovněž odstraňuje tenkou, vysoce deformovanou vrstvu zavedenou během broušení a leštění. Ve slitinách s více než jednou fází vytváří leptání kontrast mezi různými oblastmi prostřednictvím rozdílů v topografii nebo odrazivosti.

Co může způsobit leptání při suchém leptání?

Suché leptání označuje odstranění materiálu, obvykle maskovaného vzoru polovodičového materiálu, vystavením materiálu bombardování ionty (obvykle plazmě reaktivních plynů, jako jsou fluorované uhlovodíky, kyslík, chlor, chlorid boritý; někdy s přídavkem dusíku, argon, helium a další plyny) ...

Co je to leptání křemíkem?

ÚVOD. Leptání v kontextu této knihy odkazuje na procesy rozpouštění, které rovnoměrně nebo přednostně odstraňují materiál z krystalů křemíku ponořených do roztoku. Leptání křemíku bylo rozsáhle prozkoumáno díky jeho užitečným aplikacím při výrobě elektronických zařízení.

Jaký je význam leptání?

tranzitivní sloveso. 1a: vyrábět (něco, jako je vzor nebo vzor) na tvrdém materiálu pojídáním do povrchu materiálu (jako kyselinou nebo laserovým paprskem) b: podrobit se takovému leptání. 2: jasně vymezit nebo udělat dojem na scény vyryté v našich myslích, bolest se vryla do jeho rysů.