Rozdíl mezi difúzí a iontovou implantací

Iontová implantace a difúze jsou dvě techniky používané při výrobě polovodičů s některými dalšími materiály. Hlavní rozdíl mezi iontovou implantací a difúzí spočívá v tom, že iontová implantace je izotropní a velmi směrová, zatímco difúze je izotropní a dochází k boční difúzi.

1. Proč je preferována iontová implantace před difúzí?
2. Co je míněno iontovou implantací?
3. Co je iontová implantace při výrobě IC?
4. Jaké jsou výhody techniky iontové implantace?
5. Proč je po iontové implantaci nutné žíhání?
6. Co je iontová implantace a difúze?
7. Jaký je význam iontu?
8. Co je to implantát?
9. Co je iontové směrování?
10. Co je kalení plamenem a iontová implantace?
11. Co obsahuje iontový zdroj?
12. K čemu se litografie používá při výrobě polovodičů?

Proč je preferována iontová implantace před difúzí?

Viděli jsme, jak byly dopanty zavedeny do oplatky pomocí difúze („předepozice“ a „vjezd“). Iontová implantace je upřednostňována, protože: - lze zavést - řízenou, nízkou nebo vysokou dávku (1011 - 1018 cm-2) - lze regulovat hloubku implantátu. Používá se od roku 1980, navzdory poškození substrátu; nízká propustnost a náklady.

Co je míněno iontovou implantací?

Iontová implantace je proces povrchové úpravy, při kterém se ionty dusíku nebo uhlíku zrychlují a vytvářejí tak, aby pronikly na povrch součásti a poskytly odolnost proti opotřebení. ... Pomocí tohoto přístupu lze na povrch součásti nasměrovat paprsek iontů s vysokou energií (50 až 200keV).

Co je iontová implantace při výrobě IC?

Iontová implantace je nízkoteplotní proces, při kterém se ionty jednoho prvku urychlují na pevný cíl, čímž se mění fyzikální, chemické nebo elektrické vlastnosti cíle. Iontová implantace se používá při výrobě polovodičových součástek a při dokončování kovů, jakož i při výzkumu materiálových věd.

Jaké jsou výhody techniky iontové implantace?

Výhody iontové implantace jsou: Přesná kontrola dávky je možná měřením iontového proudu. Distribuce hloubky vstřikovaných dopantů a zavedená mřížová porucha přímo souvisí s energií iontů a hmotami cílového materiálu a iontu.

Proč je po iontové implantaci nutné žíhání?

Během implantace jsou implantované dopující látky bombardovány do křemíku a tento proces produkuje bodové vady v mřížce. ... Podmínky žíhání mají zásadní vliv na iontově implantované solární články, protože řídí aktivaci a difúzní profil iontově implantovaných dopantů.

Co je iontová implantace a difúze?

Iontová implantace je základní proces používaný k výrobě mikročipů. Jedná se o nízkoteplotní proces, který zahrnuje zrychlení iontů konkrétního prvku směrem k cíli a mění chemické a fyzikální vlastnosti cíle. Difúzi lze definovat jako pohyb nečistot uvnitř látky.

Jaký je význam iontu?

1: atom nebo skupina atomů, která nese kladný nebo záporný elektrický náboj v důsledku ztráty nebo získání jednoho nebo více elektronů. 2: nabitá subatomární částice (například volný elektron)

Co je to implantát?

n. (ĭm′plănt ′) Něco implantovaného, ​​zejména chirurgicky implantovaná tkáň nebo zařízení: zubní implantát; subkutánní implantát.

Co je iontové směrování?

Vliv krystalové mřížky na trajektorie iontů pronikajících do krystalu je známý jako channeling - termín, který vizualizuje atomové řady a roviny jako vodítka, která řídí energetické ionty podél kanálů mezi řádky a rovinami.

Co je kalení plamenem a iontová implantace?

Indukční kalení zahrnuje použití indukovaných elektrických proudů k velmi rychlému generování tepla pomocí hystereze, obvykle u obrobku vyrobeného ze střední až vysoce uhlíkové oceli. Kalení plamenem využívá kyslíko-palivové hořáky k ohřevu obrobku vedením.

Co obsahuje iontový zdroj?

Zdroj iontů je zařízení, které vytváří atomové a molekulární ionty. Zdroje iontů se používají k tvorbě iontů pro hmotnostní spektrometry, optické emisní spektrometry, urychlovače částic, iontové implantáty a iontové motory.

K čemu se litografie používá při výrobě polovodičů?

Výroba integrovaného obvodu (IC) vyžaduje celou řadu fyzikálních a chemických procesů prováděných na polovodičovém (např. Křemíkovém) substrátu. Slovo litografie pochází z řeckého lithos, což znamená kameny, a graphia, což znamená psát. ...