- Co je to anizotropní leptání?
- Co je izotropní a anizotropní leptání?
- Je suché leptání anizotropní?
- Jaké jsou typy leptání?
- K čemu se používá leptání plazmou?
- Co je to leptání křemíkem?
- Jaký je rozdíl mezi leptáním za mokra a leptáním za sucha?
- Jaký je rozdíl mezi izotropními a anizotropními?
- Jaký je význam leptání?
- Co může způsobit leptání při suchém leptání?
- Je mokré leptání izotropní?
- Jaké jsou typy suchého leptání?
Co je to anizotropní leptání?
Anisotropní leptání je subtraktivní mikrofabrikační technika, jejímž cílem je přednostně odstranit materiál ve specifických směrech, aby se získaly složité a často ploché tvary. Mokré techniky využívají krystalické vlastnosti struktury k leptání ve směrech řízených krystalografickou orientací.
Co je izotropní a anizotropní leptání?
Rozdíly mezi izotropním a anizotropním leptáním souvisí s tvarem, který vyřezávají pod leptanou maskou. Anizotropní leptání je, když je plazmový lept kolmý a vyskytuje se v jednom směru, zatímco izotropní leptání nastává, když je plazmový leptání ve všech směrech.
Je suché leptání anizotropní?
Suché leptání je obvykle anizotropní proces, při kterém se k fyzickému odstranění a leptání cílových materiálů používá hybnost iontových druhů zrychlujících se směrem k substrátu v kombinaci s maskovacím procesem.
Jaké jsou typy leptání?
Obecně existují dvě třídy procesů leptání:
- Mokré leptání, při kterém je materiál ponořen do chemického roztoku.
- Suché leptání, kde je materiál rozprašován nebo rozpuštěn pomocí reaktivních iontů nebo leptadla v plynné fázi.
K čemu se používá leptání plazmou?
Plazmové leptání se používá k „zdrsnění“ povrchu v mikroskopickém měřítku. Povrch součásti je obvykle leptán reaktivním procesním plynem, který působí na povrch chemicky i fyzikálně.
Co je to leptání křemíkem?
ÚVOD. Leptání v kontextu této knihy odkazuje na procesy rozpouštění, které rovnoměrně nebo přednostně odstraňují materiál z krystalů křemíku ponořených do roztoku. Leptání křemíku bylo rozsáhle prozkoumáno díky jeho užitečným aplikacím při výrobě elektronických zařízení.
Jaký je rozdíl mezi leptáním za mokra a leptáním za sucha?
Suché a mokré leptání jsou dva hlavní typy procesu leptání. Tyto procesy jsou užitečné pro odstraňování povrchových materiálů a vytváření vzorů na površích. Hlavní rozdíl mezi leptáním za sucha a leptáním za mokra spočívá v tom, že leptání za sucha se provádí v kapalné fázi, zatímco leptání za mokra se provádí v plazmové fázi.
Jaký je rozdíl mezi izotropními a anizotropními?
Izotropní odkazuje na vlastnosti materiálu, které jsou nezávislé na směru, zatímco anizotropní je závislé na směru. Tyto dva termíny se používají k vysvětlení vlastností materiálu v základní krystalografii. ... Některé příklady anizotropních materiálů jsou kompozitní materiály, dřevo atd.
Jaký je význam leptání?
tranzitivní sloveso. 1a: vyrábět (něco, jako je vzor nebo vzor) na tvrdém materiálu pojídáním do povrchu materiálu (jako kyselinou nebo laserovým paprskem) b: podrobit se takovému leptání. 2: jasně vymezit nebo udělat dojem na scény vyryté v našich myslích, bolest se vryla do jeho rysů.
Co může způsobit leptání při suchém leptání?
Suché leptání označuje odstranění materiálu, obvykle maskovaného vzoru polovodičového materiálu, vystavením materiálu bombardování ionty (obvykle plazmě reaktivních plynů, jako jsou fluorované uhlovodíky, kyslík, chlor, chlorid boritý; někdy s přídavkem dusíku, argon, helium a další plyny) ...
Je mokré leptání izotropní?
Mokré chemické leptání je obecně izotropní, i když je přítomna maska, protože kapalné leptadlo může pronikat pod masku. Protože směrovost je obvykle důležitá pro přenos vzorů s vysokým rozlišením, mokré chemické leptání se obvykle nepoužívá.
Jaké jsou typy suchého leptání?
Existují tři typy suchého leptání (např. Plazmové leptání): chemické reakce (pomocí reaktivní plazmy nebo plynů), fyzické odstraňování (obvykle přenosem hybnosti) a kombinace chemických reakcí a fyzického odstraňování.